JC/T 2064—2011

半導(dǎo)體用透明石英玻璃棒

1 范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體用透明石英玻璃棒（以下簡稱石英玻璃棒）的術(shù)語和定義、分類和標(biāo)記、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化學(xué)工業(yè)用透明石英玻璃棒也可參照本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。

2 規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

GB/T 3284 石英玻璃化學(xué)成分分析方法 GB/T 4121 石英玻璃熱變色性試驗(yàn)方法 GB/T 10701—2008 石英玻璃熱穩(wěn)定性試驗(yàn)方法 GB/T 12442 石英玻璃中羥基含量檢驗(yàn)方法 JC/T 597—2011 半導(dǎo)體用透明石英玻璃管

3 術(shù)語和定義

JC/T 597 界定的術(shù)語和定義適用于本文件。

4 分類和標(biāo)記

4.1 分類

按用途分為太陽能級石英玻璃棒（T級）和電子級石英玻璃棒（級）。 4.2 標(biāo)記

產(chǎn)品按分類（T 或 D）、產(chǎn)品名稱、產(chǎn)品規(guī)格、生產(chǎn)批號、標(biāo)準(zhǔn)編號的順序標(biāo)記。

示例∶符合JC/T 2064—2011，直徑為20mm，長度為1000m，生產(chǎn)批號為20091221的太陽能級透明石英玻璃棒標(biāo)記為∶

T-石英玻璃棒-20×100-2009122l-JC/T 2064—2011

5 要求

5.1 規(guī)格尺寸及尺寸公差 5.1.1 直徑及直徑公差